在薄膜光伏设备的生产中,通常有三个划片加工程序,相互之间产生不同的薄膜沉积,激光划片使米级尺寸的太阳能板分成若干窄小的光伏电池,通电串联运行。在薄膜光伏加工中,大多数的划片都是由目标膜上基底面的激光入射完成的。因此,基底上的任何异常都会影响到激光被聚焦的紧密程度,接着影响加工现场的激光能量密度,最后影响到划片的整个质量。
太阳能电池激光划片机的原理:激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。
太阳能电池激光划片机的特点:
1)激光能聚焦成很小的光斑,能划很细的线条。
2)非接触式加工,硅片作用时间和作用范围小,热影响区小,不会受机械应力而产生裂纹。
3)切割深度大2~3倍,可控制,大大提高了切割的合格率。
4)能对镀有保护层的半导体板进行划线。
5)划片速度快,大大提高了生产率,适于自控联机,降低了生产成本。
应用范围:太阳能电池激光划片机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割,可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等,工件精细美观,切边光滑。